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铝靶

 

一般而言,铝靶材是将高纯度的铝板通过焊接使其接合在顾客的铜制基板上。然后利用磁控溅射淀积法将铝电离成离子状态,并轰击玻璃基板在其表面形成铝膜。再经过其他刻蚀等工序,在玻璃上形成客户需要的电极线。

住化电子材料科技(上海)有限公司于2010年7月起开始生产铝靶,目前主要生产液体型及分割型两种类型的靶材。这一生产的启动,也意味着住友化学完成了构筑适应世界主要市场的日本、韩国、台湾、中国4极体制。

铝靶
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